扫描电镜(SEM)是一种广泛用于表征材料微观结构和成分的电子显微镜。本文将介绍扫描电镜的仪器性能参数,不包括扫描电镜的扫描速度、光刻限、分辨率、对角线长度等参数。扫描电镜的扫描速度是指SEM在单位时间...